EL-Flow® Metal Sealed er en serie af Mass Flow Meter (MFM) / Mass Flow Controller (MFC), der er karakteriseret ved deres unikke patenterede metal-mod-metal forseglede konstruktion. Det betyder, sammen med en høj overfladekvalitet, at denne serie er velegnet til at imødekomme kravene i halvlederindustrien såvel som andre applikationer med høje krav til renhed. Basisblokkene på trykmålere og -controllere har 1/4 " face seal male (VCR) forbindelser.
Bronkhorst EL-Flow Metal Sealed - masseflowmåler
Udstyret består af et termisk Masse Flow Meter - og som controller, med en integreret ventil eller i kombination med en ventil direkte styret af den indbyggede PID-Control i meter.
Dette udstyr er “plug and play” i et doserings-/kontrol setup – Giv et ønsket setpunkt analogt eller digitalt og få det aktuelle målte flow / doserede mængde løbende dokumenteret.
Typiske applikationer – anvendelse
- Måling af gasflow i applikationer med høje renhedskrav
- Styret og kontrolleret gasdosering i processer
- Receptstyring / Mix af gasser (specificer dosering forhold / mængde)
- Styret mix af gas in-line (Master/slave setup)
Alle applikations opgaver med EL-Flow® kan dokumenteres med målte værdier for aktuel flow..
Generelle EL-Flow® metal sealed egenskaber
- Metal forsegling – langtidssikring mod lækage
- Elektropolerede medieberørte dele
- Hurtig respons og god gentagelsesnøjagtighed
- Høj absolut nøjagtighed
- Multi gas / multi range funktionalitet
Digitale features
- Fieldbus interface
- DeviceNet™, CANopen®
- PROFIBUS DP, Modbus, FLOW-BUS
- EtherCAT®, PROFINET, Modbus/TCP, EtherNet/IP
KONTAKT VORES EKSPERT
Morten Valhøj Kristensen
Product Manager - Calibration
Tlf: +45 2085 6070
| Tekniske specifikationer | |||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Flowområde | 0,12…6 sccm op til 1…50 slm |
||||||||||||||||||
| Nøjagtighed | ± 0,5% RD + ± 0,1% FS |
||||||||||||||||||
| Spændingsforsyning | +15…24 Vdc |
||||||||||||||||||
| Procestemperatur | -10…+50°C; up to +70°C on request |
||||||||||||||||||
| Udgangssignal / Output | 0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output) |
||||||||||||||||||
| Modeller | F-111CM, F-201CM |
||||||||||||||||||
Produktspecifikation og manualer
-
Brochure - EL-Flow Metal Sealed
English | pdf
Fandt du ikke det du søgte?
Leder du efter noget bestemt materiale, så skriv til os. Så vil vi forsøge at finde det til dig, og sende det hurtigst muligt.
Udfyld kontaktformular
